工艺腔：9个有机分子源，单片玻璃尺寸（100*100mm/0.5~0.7t），优良的均匀性（≤±3%）,可有效控制沉积速率，精确衬底对准销对准，过渡舱模块，机械臂真空转移试样；
手套箱：单工位，内含旋转涂膜和UV固化；
控制系统：菜单式操作、数据记录、参数设置，全OLED蒸镀设备OLED蒸镀设备OLED蒸镀设备自动电脑控制，带互锁。
OLED蒸镀设备
◆ 该设备蒸发速率稳定。
有机物和金属都能稳定蒸发；尤其是，独特设计使得该设备可很好地控制金属铝的蒸发。
◆ 蒸镀的厚度均匀性优良。
